臭氧在常溫下15～20分鐘后分解，在200攝氏度下幾乎瞬間分解，所以臭氧消毒的溫度越低越好。此外，臭氧在濕度越高的環境下消毒效果越好。有論文顯示：在室溫25℃、相對濕度為40%和70%條件下，同樣開機消毒2h：,對白色念珠菌的殺滅率從86.0%提高到99.93%。在相對濕度為40%時,開機消毒6h不能破壞hbsag抗原性;相對濕度提高到70%,hbsag抗原性可被破壞。
不過，臭氧分解的溫度不光與室內空氣溫度有關，也與臭氧消毒機進行間隙放電的陶瓷管工作溫度有關。當廠家設計不良時，可能室內溫度雖然低，但陶瓷管的工作溫度卻很高，導致實際臭氧的產量偏低。這一點也許可以通過給臭氧消毒機添加散熱風扇和冷卻水循環系統來改善，但環境溫度的降低對其也有改善。
蘭蒂斯臭氧消毒機按冷卻方式劃分，有水冷型和風冷型。臭氧發生器工作時會產生大量的熱能，需要冷卻，否則臭氧會因高溫而邊產生邊分解（超過40℃臭氧分解會非常迅速）。水冷型發生器冷卻效果好，工作穩定，臭氧無衰減，并能長時間連續工作，但結構復雜，成本稍高。風冷型冷卻效果不夠理想，臭氧衰減明顯。大型發生器或重要場所使用的發生器通常都是水冷式的。風冷一般只用于臭氧產量較小的發生器或對發生器性能要求不嚴格的場所。在選用發生器時，應盡量選用水冷型的。
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